整机系统

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  超高真空低温扫描探针显微镜系统（STM/Nc—AFM）
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  无液氦系统
• 
  反射式高能电子衍射系统
• 
  室温扫描探针显微镜系统（RT—STM/Nc AFM）
• 
  分子束外延生长系统-250
• 
  分子束外延生长系统-500

真空配件

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  机械手
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  蒸发源-EB
• 
  蒸发源-DH
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  多维加热样品台
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  气路
• 
  低温杜瓦

真空定制

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  样品存储架
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  真空腔体
• 
  STM针尖托
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  样品托
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  其他定制化超高真空零件