整机系统

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  超高真空低温扫描探针显微镜系统（STM/Nc—AFM）
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  无液氦系统
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  反射式高能电子衍射系统
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  室温扫描探针显微镜系统（RT—STM/Nc AFM）
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  分子束外延生长系统-250
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  分子束外延生长系统-500

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