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多维加热样品台
多维加热样品台

多维加热样品台

安装法兰：DN63CF
烘烤温度：130℃
温度：配备冷台、热台，可进行90K-1500K范围变温
加热方式:  直流加热、辐射加热、E-beam加热
最大行程:  Z方向700mm，Z移动模块精度为50μm
可调角度:  绕轴向360°，精度可控在0.25°
XY行程:  ±15mm、X/Y方向移动模块精度为15μm
所属类别:真空配件
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