气路

详细介绍

• 设有多路进气及出气通道；
• 一路通入SPM分析腔、可以原位开展气体分子与样品表面反应；
• 通入超高真空腔反应气体的时间和气压可调控，气路中气体真空度优于1x10-6mbar；

相关产品

多维加热样品台

低温杜瓦

机械手

蒸发源-DH

蒸发源-EB

分子束外延生长系统-250

室温扫描探针显微镜系统（RT—STM/Nc AFM）

反射式高能电子衍射系统

样品存储架

STM针尖托

真空腔体

其他定制化超高真空零件