反射式高能电子衍射系统

详细介绍

• RHEED系统是一种可原位监测薄膜生长结构的工具。
• 通过RHEED图案特征，可以分析基底的表面再购、基底或薄膜表面的晶体结构。
• 通过衍射强度的变化，可分析薄膜表面粗糙度，从而监测薄膜生长进度

      
   

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