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功能: 可原位监测薄膜生长结构的工具
所属类别:
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详细介绍
RHEED系统是一种可原位监测薄膜生长结构的工具。
通过RHEED图案特征,可以分析基底的表面再购、基底或薄膜表面的晶体结构。
通过衍射强度的变化,可分析薄膜表面粗糙度,从而监测薄膜生长进度
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